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在半導(dǎo)體制造業(yè),航空航天,真空鍋爐、真空清洗干燥機(jī)等設(shè)備中,通常會(huì)涉及到真空環(huán)境,即低氣壓、高真空度,同時(shí)還需要考慮無(wú)潤(rùn)滑或少潤(rùn)滑的工作環(huán)境。這個(gè)時(shí)候,軸承的選擇尤為重要。
一、真空環(huán)境下軸承的工作特點(diǎn)與要求
1. 能夠承受低氣壓環(huán)境:真空環(huán)境中的氣壓遠(yuǎn)低于大氣壓,因此軸承需要具有在低氣壓下穩(wěn)定工作的能力。此外,軸承材料和結(jié)構(gòu)需要能夠適應(yīng)氣壓的急劇變化,確保在真空環(huán)境中不會(huì)失效。
2. 適應(yīng)高真空度:高真空環(huán)境要求軸承本身不能產(chǎn)生過(guò)多的氣體排放,以免破壞真空環(huán)境。故軸承的密封性和氣體排放控制能力至關(guān)重要。
3. 無(wú)潤(rùn)滑或少潤(rùn)滑工作環(huán)境:真空環(huán)境中,傳統(tǒng)的潤(rùn)滑方式往往易失效,因此軸承需要具備在無(wú)潤(rùn)滑或少潤(rùn)滑條件下工作的能力(潤(rùn)滑脂需具備良好的耐高溫性能、潤(rùn)滑性、化學(xué)穩(wěn)定性和低揮發(fā)性等)。
二、適用于真空環(huán)境的軸承類(lèi)型
1. 陶瓷軸承:陶瓷軸承具有優(yōu)異的耐磨性和抗腐蝕性,同時(shí)能夠在高真空環(huán)境下保持穩(wěn)定的性能。此外,陶瓷軸承具備良好的自潤(rùn)滑性能,本身不會(huì)產(chǎn)生過(guò)多的氣體排放,有助于保持真空環(huán)境的穩(wěn)定性。
2. 真空專(zhuān)用軸承:這類(lèi)軸承是專(zhuān)為真空環(huán)境設(shè)計(jì)的,其結(jié)構(gòu)和材料都經(jīng)過(guò)特殊優(yōu)化,以適應(yīng)低氣壓、高真空和無(wú)潤(rùn)滑的工作環(huán)境。真空專(zhuān)用軸承通常具有較高的承載能力和使用壽命,能夠滿足真空系統(tǒng)對(duì)穩(wěn)定性和可靠性的要求。
此外,真空環(huán)境往往伴隨著高溫、腐蝕等極端條件,亦或者對(duì)軸承的精度、負(fù)載能力,穩(wěn)定性等有高要求,因此,需根據(jù)實(shí)際工況來(lái)合理的選擇軸承,以確保軸承能夠在真空環(huán)境中穩(wěn)定、可靠地運(yùn)行。
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